高溫霍爾效應(yīng)測試儀是利用范德堡測量技術(shù)在不同溫度和不同磁場時(shí)對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻率、載流子濃度、磁致電阻率、霍爾系數(shù)、電子遷移率等進(jìn)行測量,用來表征和了解材料的物理性質(zhì)。該高溫霍爾效應(yīng)測試儀主要可包括霍爾效應(yīng)測量控制系統(tǒng)、變溫控制器、磁場控制系統(tǒng)三部分。
高溫霍爾效應(yīng)測試儀是性能穩(wěn)定、功能強(qiáng)大、性價(jià)比高的霍爾效應(yīng)儀,在國內(nèi)高校、研究所及半導(dǎo)體業(yè)界擁有廣泛的用戶和度。本儀器輕巧方便,易于攜帶,主要用于量測電子材料之重要特性參數(shù),如載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等,薄膜或體材料均可,其原理主要依據(jù)范德堡法則。除了用來判斷半導(dǎo)體材料之型態(tài)(n或p)以外,它也可應(yīng)用于LED磊晶層的質(zhì)量判定,也可以用來判斷在HEMT組件中二維電子氣是否形成,此未還可以用于太陽能電池片的制程輔助。
高溫霍爾效應(yīng)測試儀主要特點(diǎn)
1)寬的工作溫度范圍(70-730K);
2)高的溫度穩(wěn)定性和重復(fù)性(±0.1K);
3)可選電磁場(1.4T和5000高斯)和永磁體5000高斯;
4)靈活配置的模塊設(shè)計(jì),可以根據(jù)經(jīng)費(fèi)和實(shí)驗(yàn)需求組建系統(tǒng);
5)低運(yùn)行成本;
6)無機(jī)械、聲學(xué)和電子噪聲;
7)高溫霍爾效應(yīng)測試儀可與塞貝克效應(yīng)測試儀(熱電效應(yīng)測試儀或熱電系數(shù)測試儀)公用平臺(tái)。